porlasztó

A porlasztás együttható γ s p u t >> - mennyisége kibocsátott atomok per beeső ion határozza meg a tömeg a beeső részecskék, az energia és a beesési szög, valamint a célanyag.

Függés energiája beeső részecskék

A porlasztó együttható nullával egyenlő, ha a beeső ion energia kisebb, mint a küszöbérték gyorsan növekszik akár energiáit néhány száz eV, ahol porlasztó jelentőssé válik. Abban az esetben, ha a relatív atomtömeg a célanyag Z t> a beeső ion és Z i> nagy és nem túl más (0. 2 ≲ Z T / Z i ≲ 5; Z t Z i >> 1) 2 \ lesssim Z_ / Z_ \ lesssim 5; Z_, Z _ >> 1)>. jó közelítés a permetezés faktor kifejeződése [2]:

Így a porlasztás mértéke függ az energia a beeső részecskék, súlyuk és a célanyag. Meg kell jegyezni, hogy a fenti képletekben igazak csak egyatomos ionok és semleges atomok.

Nagy energiákon, a csökkentett függőségét az incidens részecskék törött annak a ténynek köszönhető, hogy növeli a mélység azok behatolását az anyagba. A kaszkád ütközés következik a felszínen, és a atommal vagy kapnak kevesebb energiát, ami csökkenti a valószínűségét kibocsátási. Ennek eredményeként az energiafüggőség a maximum, ami után a porlasztó sebesség csökken. [3]

A függőség a beesési szög részecskék

A növekvő behatolási mélysége θ viszonyítva a normál beesési szöge a beeső részecske csökken az anyagba. A kaszkád ütközés következik a felszínhez közelebb, annak atomok nagy lett frakció a energia. Irány impulzus továbbított eltolható atomok kedvezőbb permetezésre. Azonban, ha túl nagy beesési szögek növeli a valószínűségét tükrözi a beeső elektromos mezőnek a részecske felületén anélkül, hogy lényeges átadása az atomok a cél pulzus. Így, a függőség a fémszóró hozam maximális képlet határozza meg [4]:

Amint a fenti arányok, a növekvő ion θ m a x> növekszik.

Az energia és szögletes eloszlások a szétszórt atomok

Amikor E i >> E t h r> _ >>> _ >> porlasztott atomok a következő eloszlása ​​az energia és az emissziós szög χ:

forgalmazás eléri a maximális a E = E t / 2> => _ / 2>. Mivel E t ~ 3..6> _ \ sim 3..6> eV, a jellemző energia a szétszórt atomok 1,5..3 eV, ami lényegesen magasabb, mint bármely hőmérsékleten egyensúlyi pont [5].

Porlasztás vezet eróziója az elektródák a gázzal töltött elektronikus eszközök (különösen a HID lámpáknál) próbákkal. használt plazma diagnosztika. Az elektródák a plazma forrás. Ahhoz, hogy csökkentik a megsemmisítése a elektródák hajlamosak csökkenteni az ion felhasznált energia alkalmazni, amelynek alacsony vákuumpárologtatásos együttható (grafit. Titán).

Porlasztás esetén alkalmazzák, elsősorban a termelés egy mikroelektronikai vékonyréteg-leválasztás és a maratás topográfia.

Továbbá, ezt az eljárást alkalmazzuk a ívhegesztés alumínium feltörése az oxidfilm a felszínén.

A sorozat rövid jegyzeteket nem szerepel a cikkben, vagy nem vezet a „Hivatkozások” részben.