Vastagságának szabályozása vékony filmek - studopediya
Meghatározása rétegvastagság jelent komoly technikai nehézségekkel jár, elsősorban annak a ténynek köszönhető, hogy a „vastagság” olyan, vékony rétegben elveszíti bizonyosság erőt fejlesztett megkönnyebbülés felületeken.
Az „igazi” vastag fóliát kell érteni érték
ahol d (y z.) - a magassága a külső határát fém határok,
S - felület réteg.
Számos módszer vastagságának mérésére a vezető vékony rétegek: eljárás optikai interferometria, elektromos, gravimetriás módszerek, eljárások az indikátorral tűvel, stb
Elektromos módszerek közé mérő villamos ellenállásának a film R két- vagy négy-próba módszer és a számítás a vastagsága a megfelelő képleteket a specifikus R ellenállás. A két-próba módszer
ahol l - fólia hosszát (a sávok közötti távolság);
és - a szélessége a film pályán.
Gravimetrikus módszerek alapulnak mérjük a szubsztrátum alkalmazása előtt és után a film. A film átlagos vastagsága van megadva Angström képletű
ahol # 8710; P - súlykülönbség, ug;
S - mintaterület, cm 2;
R - film sűrűsége, g # 8729; cm -3.
Elektromos és gravimetriás módszerek egyszerűek, azonban ismerni kell az első esetben az ellenállás, a második - film sűrűsége.
4-MDI készülék lehetővé teszi, hogy mérjük a magassága a szabálytalanságok terjedő 1-0,03 mikron.
Amikor telepíti az eszköz sík fényvisszaverő mintaképet kialakítva, a rojtok (ábra. 2,53)
Ábra. 2.53. Az interferencia kép sík felülettel (a);
b - egy lépésben a film (1) - hordozó (2)
Ha lépést képez a film szubsztrát egy szubsztráton, az interferencia mintázat megváltozik (ábra. 2,53, b).
E szerint a képet a szemlencse mikromérő rétegvastagságot lehet meghatározni
Az, hogy a teljesítmény:
- Előnézete 4-munka MII készüléket a leírását.
- Mérjük meg a vastagsága a fólia minták keresztül felkínált MII-4.
- A ohmmérővel mérjük meg az ellenállást Ezekben a mintákban # 961; .
- Eredmények pp 3.4 hoz az asztalra, és felhívni a grafikon # 961; = F (d)
- Tedd a mintákat egy termosztát és a hőmérséklet és ellenállás mérésével ábrázoltuk # 961; = F (t), és LN # 963; = F ()
- Határozza TCS minták és ábrázoljuk TCS = f (d)
- Rate hibát eredményez.
- Vékony filmeket használnak, ahol?
- A film eltér a kiterjedt minták? Miért?
- Mi okozta a függőség # 961; = F (d)?
- Amely feldolgozza miatt a függőség R = f (t)?
- Ahhoz, hogy magyarázza a függőség a TCR = f (d).
- Mi a klasszikus dimenziós hibák?
- Mi a kvantum méretű hibák?
Referenciák: [6] - 2,1; 10.